品牌 南光 一、适用范围 适用于φ100mm以下，厚度为5mm以下各种基片的光刻。（包括非常规基片、碎片及表面不平整基片） 二、主要技术指标 1、对准精度：±0.5μm。 2、微动台扫描范围±20mm，x、y可调范围±4mm。 3、承片台上下可移动范围为5mm，旋转角度大为90

四川南光泵业有限公司成立于二零零零年，是由原国营南光机器厂（国内大真空设备制造商）真空泵分厂改制而成。是国内大的真空泵制造基地。公司汇聚了一大批真空界精英和专业技术人员。产品有：双级旋片式真空泵，罗茨真空泵，直联式真空泵，金属油扩散泵，油增压泵，滑阀泵，水环式真空泵，各类低真空，高真空，超高真空机组。产品被广泛应用于电光源，冶金，化工，石油，医疗，矿山，纺织等行业，深受国内外用户好评。产品经常出口到欧洲，美洲，东南亚等40多个国家和地区。随着公司改制后的不断发展，特别是近五年来每年保持50%的发展速度稳定增长，使我公司产销量连续五年在全国同行业名列前茅，公司拥有严格的质量管理体系，高素质的员工队伍，完善的售后服务体系。公司先后在广州，上海，沈阳，武汉，西安，成都建立了办事处和售后服务站。我们郑重承诺：公司产品实行一年内“三包”服务，即：“包退”，“包换”，“包修”。终生技术服务，如需，48小时到场。我公司愿以优质的产品和迅捷的售后赢得您的青睐。热烈欢迎广大新老客户光临我司考察和指导！